| 是否进口：否 | 类型：扫描电子显微镜 | 品牌：Zeiss |
| 型号：EVO 18 | 目镜放大倍数：可选 | 物镜放大倍数：可选 |
| 加工定制：否 | 是否跨境货源：是 | 有可授权的自有品牌：是 |
EVO 18分析型扫描电镜
EVO 18 是一款具有处理各种材料能力的分析型显微镜，为您提供优异的成像品质。
标配能谱仪和波谱仪（EDS & WDC）接口，另有用于***形貌与化学分析的全集成式颗粒分析和识别解决方案可供选择。通过升级LaB6高亮度光源将与X射线分析相关的探针电流性能提升至一个全新的水准。
EVO 18 扫描电镜的五象限背散射电子探测器（BSE）有助于增强低电压性能及提供更丰富的形态信息。对于非导电样品，电子束衬管技术可有效提高分辨率。
EVO 18 Research 是学术和研究机构使用的一款分析型扫描电子显微镜。EVO 18 Research 为您提供优异的成像品质，具有处理多种材料的能力。结合SmartSEM 软件的易用性，使其成为多种研究应用的合适之选，范围涵盖半导体和电子技术、地质科学及材料研究。
产品特点
? 业内***的X射线几何结构以及标配能谱仪和波谱仪（EDS & WDS）
? 五象限背散射电子探测器（BSE）为您提供更丰富的形态信息
? 可变电压功能用于分析较少制备的非接触式样品
? 可移动的显微镜样品台用于观察大型样品
? 配备钨光源和可供选择的LaB6 光源
? 优质的生产工艺，曾荣获2011年英国电子电气工厂奖以及欧特克产品与工艺大奖
利用BSE探测器在5象限对滤纸的成像
技术参数
分辨力 | 3 nm (2 nm) @ 30 kV SE and W (LaB6) |
4 nm @ 30 kV VP mode | |
20 nm (9 nm) @ 1 kV SE and W (LaB6) | |
电压 | 0.2 -30 kV |
探针电流 | 0.5 pA to 5 μA |
放大倍率 | <5 - 1,000,000x |
视野 | 分析工作距离（AWD）为6 mm |
X射线几何 | 8.5 mm AWD和35°起飞角 |
OptiBeam模式 | 分辨率，深度，分析，鱼眼领域 |
压力范围 | 10 – 400 Pa |
可用的探测器 | ETSE - Everhart-Thornley二次电子探测器（标配） |
BSD - 五段二极管背向散射电子探测器（标配） | |
VPSE - 可变压力二次电子探测器 | |
SCD - 试样电流检测器 | |
EDS - 能量色散谱仪 | |
WDS - 波长色散光谱仪 | |
CL - 阴极发光检测器 | |
STEM - 扫描透射电子显微镜检测器 | |
工作室尺寸 | 365毫米（?）x 275毫米（高） |
5轴电动试样台 | X = 125 mm，Y = 125 mm Z = 50 mm电动（样品高度延伸至145 mm，在Z轴，倾斜和旋转模块已移除的情况下） T = -10 to 90°，R = 360°（连续） 通过鼠标，操纵杆或控制面板控制工作台 |
未来的可升级路径选项 | BeamSleeve |
图像帧库 | 分辨率：扫描速度为2或更高时，可达32k x 24k |
通过积分平均法来获取信号 | |
图像显示 | 高清晰屏幕 |
具有双通道显示功能 | |
系统操作 | SmartSEM ** GUI由鼠标和键盘操作 |
多语言Windows?操作系统 | |
实用需求 | 100 - 230 V，50或60 Hz单相 |
无需水冷 | |
操纵杆、键盘、美国控制面板和鼠标 |
注：*OptiBeam - 有源色谱柱控制，可实现分辨率，视野或景深
* SmartSEM - 第六代SEM控制图形用户界面
